半导体制造系统

摘要

一种具有用于检查半导体制造装置的程序的半导体制造系统，其进行以下步骤：显示用于指定检查项目的画面的步骤，该检查项目包括具备操作事项、确认事项的检查事项；从存储部读出与所指定的检查项目对应的检查事项，按工作顺序排列，并附加各检查事项是自动执行还是手动执行的执行属性，在画面中进行显示的步骤；和通过受理检查开始指令从存储部读出第一个检查事项的步骤，并且进行与a.检查事项是操作事项，执行属性为自动执行的情况；b.检查事项是操作事项，执行属性为手动执行的情况；c.检查事项是确认事项，执行属性为自动执行的情况；d.检查事项是确认事项，执行属性为手动执行的情况对应的步骤，直至不存在下一检查事项为止。

主权项

一种检查方法，其为在半导体制造系统中执行的检查方法，所述半导体制造系统包括：包括设备的半导体制造装置；控制部，其输出用于控制所述半导体制造装置所包括的所述设备的控制信号；存储部，其存储有多个包括多个检查事项的检查项目，所述检查事项包含用于检查所述半导体制造装置的操作事项和确认事项的至少一项；程序收纳部，其收纳有用于检查所述半导体制造装置的程序；显示部，其显示用于进行检查操作的指示和确认的画面；和检测所述确认事项的确认结果的检测部，其中，所述检查方法进行：显示用于指定检查项目的画面的步骤；从存储部读出与所指定的检查项目对应的检查事项并按照工作顺序排列，而且附加各检查事项是自动执行还是手动执行的执行属性并显示于画面的步骤；和通过受理检查开始指令，从存储部读出依次排列的检查事项中的第一个检查事项的步骤，并且，进行以下的a至d的任一个步骤直至不存在下一检查事项为止，a.当成为读出的对象的检查事项为操作事项，执行属性为自动执行时，对操作对象设备输出用于进行与操作事项对应的动作的命令，将其操作结果与该操作事项相对应在画面中显示，当操作结果为正常且存在下一检查事项时，从存储部读出该下一检查事项的步骤，b.当成为读出的对象的检查事项为操作事项，执行属性为手动执行时，显示受理用户已进行该操作事项的指示的画面，当该指示为正常且存在下一检查事项时，从存储部读出下一检查事项的步骤；c.当成为读出的对象的检查事项为确认事项，执行属性为自动执行时，根据由检测部进行的对确认事项的检查结果自动地进行该确认事项，将其确认结果与该确认事项相对应在画面中显示，当确认结果为正常且存在下一检查事项时从存储部读出该下一检查事项的步骤；d.当成为读出的对象的检查事项为确认事项，执行属性为手动执行时，显示用于受理确认结果是正常、异常的判别输入的画面，将所输入的确认结果与该确认事项相对应在画面中显示，当输入的确认结果为正常且存在下一检查事项时从存储部读出该下一检查事项的步骤。