发明名称 一种可进行远程观测的泡生法蓝宝石晶体炉
摘要 公开一种可进行远程观测的泡生法蓝宝石晶体炉,设置进行集中控制的控制器,可以驱动籽晶杆旋转的籽晶旋转系统,可以驱动所述的籽晶杆上下运动的籽晶提拉系统,用于测量晶体重量的称重系统,用于测量冷却水温度的测温系统,用于实现长晶的真空环境的真空系统,用于实现高温环境的加热系统,进行参数和信息显示的显示界面,还包括设置在所述的蓝宝石晶体炉的炉盖上的套筒,所述的套筒内设置摄像机系统,所述的套筒的下端设置密封件,所述的密封件包括平面石英玻璃和橡胶圈,所述的摄像机系统与所述的控制器连接。采用该方案可以更加方便地观测蓝宝石晶体生长情况,从而提高引晶的成功率。
申请公布号 CN204455355U 申请公布日期 2015.07.08
申请号 CN201520105696.4 申请日期 2015.02.13
申请人 杭州晶一智能科技有限公司 发明人 刘瑜;陈晓玲;杜慧江
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 主分类号 C30B17/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种可进行远程观测的泡生法蓝宝石晶体炉,设置进行集中控制的控制器,可以驱动籽晶杆旋转的籽晶旋转系统,可以驱动所述的籽晶杆上下运动的籽晶提拉系统,用于测量晶体重量的称重系统,用于测量冷却水温度的测温系统,用于实现长晶的真空环境的真空系统,用于实现高温环境的加热系统,进行参数和信息显示的显示界面,所述的显示界面、籽晶旋转系统、籽晶提拉系统、称重系统、测温系统、真空系统、加热系统与所述的控制器连接,其特征在于:还包括设置在所述的蓝宝石晶体炉的炉盖上的套筒,所述的套筒焊接在所述的炉盖的开口上,所述的套筒内设置摄像机系统,所述的套筒的下端设置密封件,所述的密封件包括平面石英玻璃和橡胶圈,所述的摄像机系统与所述的控制器连接。
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