刻蚀机内部的水冷卡盘结构

摘要

刻蚀机内部的水冷卡盘结构，包括氦气分布板、水道分布板、水道密封板，在氦气分布板、水道分布板及水道密封板表面上都均布设置有相对应的避让孔通孔，用于托盘装卸机构通过；所述的水道分布板、水道密封板表面上还设置有相对应的氦气引导孔；所述的氦气分布板、水道分布板及水道密封板依次在真空钎焊的作用下结合为一体，组成两组不同的输入、输出气、水通道。本实用新型通过三层板不同的内部结构设计，设计出一条循环水道、一条循环气道结构，互不干涉，实现两种冷却、温控功能。确保刻蚀过程中蓝宝石片及刻蚀腔内工作温度控制的质量，大大延长了设备的使用寿命。

主权项

刻蚀机内部的水冷卡盘结构，包括氦气分布板、水道分布板、水道密封板，其特征在于：氦气分布板、水道分布板及水道密封板表面上都均布设置有相对应的避让孔（2）通孔，用于托盘装卸机构通过；所述的水道分布板、水道密封板表面上还设置有相对应的氦气引导孔（5）；所述的氦气分布板、水道分布板及水道密封板依次在真空钎焊的作用下结合为一体，组成两组不同的输入、输出气、水通道。