电子器件用基板及其制造方法、使用该基板的电子器件及其制造方法以及有机LED元件用基板

摘要

本发明提供一种电子器件用基板，其通过在保持表面的平滑性的同时在内部埋入布线而抑制布线的剥离、劣化，从而提供寿命长且可靠性高的电子器件。一种电子器件用基板(100)，具有第一主面和位于第一主面相反侧的第二主面，在所述第一主面上形成有电极布线，其中，具有：玻璃基板(101)、在所述玻璃基板(101)的所述第一主面上形成的辅助布线图案(200)、和以覆盖所述辅助布线图案(200)的上层的方式在所述玻璃基板(100)的表面上形成的透光性玻璃层(102)，并且在所述玻璃层(102)的一部分中形成有将所述辅助布线图案(200)露出的通孔H，除从通孔H露出的连接用区域以外的整个辅助布线图案(200)被封入于玻璃层(102)中，因此，不必担心辅助布线图案(200)的劣化，能够提供稳定且寿命长的辅助布线图案。另外，通过玻璃化而得到的玻璃层的表面平滑，能够使在其上层形成的以电极布线为代表的功能层的厚度稳定、均匀。

主权项

一种电子器件用基板，其中，在具有第一主面和位于第一主面相反侧的第二主面的玻璃基板的所述第一主面一侧形成有电极布线，其特征在于，具有：在所述玻璃基板的所述第一主面上形成的辅助布线图案，和以包含所述辅助布线图案且覆盖在所述第一主面上的方式在所述玻璃基板表面形成的透光性玻璃层，并且在所述辅助布线图案上的所述玻璃层的一部分中形成有将所述辅助布线图案露出的通孔，所述通孔具有口径随着远离所述辅助布线图案而增大的锥形截面，所述玻璃层的膜厚为15μm以上且200μm以下，所述玻璃层为包含玻璃的散射性玻璃层，其具有对于透射光的至少一个波长具有第一折射率的基材、和分散在所述基材中并且具有与所述基材不同的第二折射率的散射物质，距所述玻璃层的所述辅助布线图案相反侧的表面的距离x为x≤0.2μm处的散射物质的密度ρ2相对于玻璃层中心部的所述散射物质的密度ρ1，满足ρ1>ρ2。