带电粒子分析仪以及带电粒子分离方法

摘要

提供了一种使用分析仪将带电粒子分离的方法，该方法包括：致使一个带电粒子束飞行穿过该分析仪、并且在沿一个主飞行路径围绕一个分析仪轴线(z)做轨道运行的同时在该分析仪体积内在该轴线(z)方向上经历至少一个全振荡；限制该射束在飞行通过该分析仪时的圆弧散度；并且根据这些带电粒子的飞行时间将其分离。还提供了一种用于实施该方法的分析仪。优选使用至少一个圆弧聚焦透镜来限制散度，该圆弧聚焦透镜可以包括位于射束的两侧上的一对相对的电极。可以使用多个基本上位于相同z坐标处的圆弧聚焦透镜的一个阵列，该阵列中的这些圆弧聚焦透镜在该圆弧方向上间隔开并且该阵列至少部分地围绕z轴线延伸，由此在该射束飞行通过该分析仪时对它的圆弧散度进行多次限制。

主权项

一种使用分析仪将带电粒子分离的方法，该方法包括：致使一个带电粒子束飞行通过该分析仪并且在沿一条主飞行路径绕一个分析仪轴线z做轨道运行的同时在该轴线z的方向上在该分析仪内经历至少一次全振荡；当该带电粒子束飞行通过分析仪时，对其圆弧散度进行限制；并且根据这些带电粒子的飞行时间将其分离。