压电元件以及压电元件的制造方法

摘要

本发明的目的是提供一种压电元件以及压电元件的制造方法，在从晶圆状态切割成各个压电元件单体时不易产生破损，能以晶圆状态来测定各个晶体振动片的频率并进行调整。压电元件(100)包括：矩形的第一板(12)，构成收纳着振动部(10)的封装体的一部分，且具有一对直线状的第一边(L1)及与第一边垂直的一对直线状的第二边(L2)；矩形的第二板(11)，接合于第一板且构成收纳着振动部的封装体的一部分；以及粘接剂(LG)，包含将第一板与第二板予以接合的玻璃材料。另外，在一对第一边上，形成有从外周凹陷的一对城堡形部分(122)，一对城堡形部分分别配置于如下的两个区域，该两个区域是被通过第一板的中心且与第二边呈平行的直线(Ax)所分开。

主权项

一种压电元件，为具有通过施加电压而发生振动的振动部的压电元件，所述压电元件的特征在于包括：矩形的第一板，构成收纳着所述振动部的封装体的一部分，且所述第一板具有一对直线状的第一边、及与所述第一边垂直的一对直线状的第二边，所述第二边比所述第一边还长；矩形的第二板，接合于所述第一板，且所述第二板构成收纳着所述振动部的封装体的一部分；安装端子，形成在所述第一板的、与所述第二板接合的面的相对面；以及侧面电极，连接到所述安装端子，且所述侧面电极形成在所述第一板的侧面；其中，只在所述一对第一边上从外周凹陷而成的一对城堡形部分，是以不包含所述第一边的两端的方式而形成，所述一对城堡形部分是分别配置于两个区域，所述两个区域是被通过所述第一板的中心、且与所述第二边呈平行的直线所分开，所述侧面电极只形成在所述城堡形部分上，所述第一板是AT切割的晶体板，所述AT切割的晶体板是规定为：所述第一边为短边，所述第二边为长边，所述长边的延伸方向为X轴方向，高度方向为Y’轴方向，所述短边的延伸方向为Z’轴方向，所述一对城堡形部分是利用蚀刻而形成。