一种TFT玻璃铂金欠点消除装置

摘要

本实用新型属于TFT玻璃制备领域，具体涉及一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，包括氮气系统、净化空气系统、混合气体调节系统以及开设有混合气器进、出口的铂金管道，所述氮气系统包括依次连接的氮气源、第一调压装置、第一加热装置，所述净化空气系统包括依次连接的净化空气源、第二调压装置和第二加热装置，所述第一加热装置、第二加热装置的气体出口分别与混合气体调节系统的气体入口相连接，所述混合气体调节系统的气体出口与铂金管道的混合气体进口相连接。本实用新型有效减少了铂金通道内铂金和氧离子等有害气体发生反应，减少了铂金欠点的发生率，并有效延长铂金通道的使用寿命，本实用新型可将铂金不良率减少20％以上，同时提高铂金通道使用寿命半年以上。

主权项

一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，包括氮气系统、净化空气系统、混合气体调节系统(5)以及开设有混合气体进、出口的铂金管道(10)，所述氮气系统包括依次连接的氮气源(1)、第一调压装置(3)、第一加热装置(4)，所述净化空气系统包括依次连接的净化空气源(2)、第二调压装置(6)和第二加热装置(4)，所述第一加热装置(4)、第二加热装置(4)的气体出口分别与混合气体调节系统(5)的气体入口相连接，所述混合气体调节系统(5)的气体出口与铂金管道(10)的混合气体进口相连接。