发明名称 用于制造构件的方法、用于制造构件结构的方法、构件和构件结构
摘要 本发明提出一种用于制造构件的方法,其中,在第一制造步骤中提供一具有衬底、膜片和空穴区域的基本结构,膜片基本上平行于衬底的主延伸平面设置,空穴区域设置在衬底与膜片之间,空穴区域具有进入开口,并且在第二制造步骤中在空穴区域中并且尤其是在膜片的垂直于主延伸平面面向衬底的第二侧面上至少部分地设置第一导电层。
申请公布号 CN102099281B 申请公布日期 2015.07.08
申请号 CN200980128186.6 申请日期 2009.06.09
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 T·克拉默;S·平特;H·本策尔;M·伊林;F·哈格;S·安布鲁斯特
分类号 B81B7/00(2006.01)I 主分类号 B81B7/00(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 侯鸣慧
主权项 用于制造构件(1)的方法,其中,‑在第一制造步骤中提供一具有衬底(4)、膜片(3)和空穴区域(2)的基本结构(1’),其中,‑所述膜片(3)基本上平行于所述衬底(4)的主延伸平面(100)设置,并且‑所述空穴区域(2)设置在所述衬底(4)与所述膜片(3)之间,并且‑所述空穴区域(2)具有进入开口(2’),在第二制造步骤中至少部分地在所述空穴区域(2)中并且在所述膜片(3)的垂直于所述主延伸平面(100)面向所述衬底(4)的第二侧面(3”)上设置第一导电层(6),其特征在于,在第三制造步骤中将所述膜片(3)从所述衬底(4)分开,其中,将所述膜片(3)从所述衬底(4)撕开。
地址 德国斯图加特