发明名称 升华纯化设备
摘要 本发明涉及一种通过升华来纯化OLED材料的设备。传统升华纯化装置是分批型的,其中通过将一份源材料装载到处理器腔室中并且随后从所述处理腔室卸载经纯化材料来进行一个升华纯化过程。这些过程是人工进行的,并且因此不可能连续地生产OLED的经纯化材料。因此,难以提高生产量和生产率。根据本发明,装载所述源材料和卸载所述经纯化材料都是自动进行的,因此实现了纯化OLED的源材料的连续过程。
申请公布号 CN104768622A 申请公布日期 2015.07.08
申请号 CN201380058153.5 申请日期 2013.09.24
申请人 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 发明人 D-H·金;S-Y·金;J-H·朴;B-G·朴;S-H·朴;J-W·郑;Y-W·南;J-S·白
分类号 B01D7/00(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;C07B63/00(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 B01D7/00(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 徐舒
主权项 一种升华纯化设备,其包含:第一自动机,其具有用于将含有源材料的容器装载到处理腔室中的臂;处理腔室,其用于进行升华纯化过程以从所述源材料获得经纯化材料,其中含有所述源材料的所述容器和收集经纯化材料的收集器位于所述处理腔室内的预定位置处;以及第二自动机,其具有用于从所述处理腔室卸载含有所述经纯化材料的所述收集器的臂,其中所述处理腔室进一步包含位于所述处理腔室与所述容器和所述收集器中的每一者之间的间隔件以使得所述容器和所述收集器中的每一者与所述处理腔室间隔开来。
地址 韩国忠清南道