具有具凸起的膜片的压力传感器

摘要

具有具凸起的膜片的压力传感器。一种具有膜片的压力传感器，膜片具有带有图案的凸起部。具有凸起部的膜片可被视为具凸起的膜片。具凸起的膜片可具有比具有与具凸起的膜片相同面积的平板膜片更高的灵敏度。具凸起的膜片可并入可在低压力下进一步改进膜片的压力响应的灵敏度和线性度的简单图案。凸起部和在膜片的周边周围的其腿的尖锐边缘和角的减少可减少高应力点并因而增加具凸起的膜片的破裂压力额定值。

主权项

一种压力传感器系统，包括：硅衬底；掩埋层，其被注入所述衬底的第一侧中，所述掩埋层具有限定凸起部和膜片的周边的图案；以及硅外延层，其位于所述衬底的所述第一侧上；以及其中：所述衬底的第二侧具有延伸到所述掩埋层和通过如所述掩埋层的所述图案限定的所述掩埋层中的开口所暴露的所述外延层的背侧的一部分的开口；以及所述掩埋层中的所述开口显露具有由所述掩埋层的所述图案限定的所述周边的膜片，并显露由掩埋层的所述图案限定的凸起部，所述凸起部附着到由所述外延层的一部分构成的所述膜片。