发明名称 |
一种用于液体多参数传感的乐甫波器件结构及检测方法 |
摘要 |
本发明公开了一种用于液体多参数传感的乐甫波器件结构及检测方法。本发明的乐甫波器件结构包括压电基片、压电薄膜、第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器、第一液体敏感区、第二液体敏感区;叉指换能器沉积在压电基片表面中部,第一反射栅(3)、第二反射栅(4)分别沉积在压电基片(1)表面的左右两侧,压电薄膜溅射在压电基片表面,第一液体敏感区设置于第一反射栅与叉指换能器之间,第二液体敏感区设置于第二反射栅与叉指换能器之间。本发明仅用一个乐甫波器件就实现对液体密度、粘度、介电常数和电导率的并行检测,能够消除液体的体积弹性模量对测量结果的影响,并且具有无源无线功能。 |
申请公布号 |
CN104768113A |
申请公布日期 |
2015.07.08 |
申请号 |
CN201510124141.9 |
申请日期 |
2015.03.20 |
申请人 |
南京航空航天大学 |
发明人 |
陈智军;王昕辰;童锐;钟悦芸;孙聪 |
分类号 |
H04R23/00(2006.01)I;G01N9/00(2006.01)I;G01N11/00(2006.01)I;G01R27/22(2006.01)I;G01R27/26(2006.01)I |
主分类号 |
H04R23/00(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
代理人 |
朱小兵 |
主权项 |
一种用于液体多参数传感的乐甫波器件结构,其特征在于:所述乐甫波器件结构包括压电基片(1)、叉指换能器(2)、第一反射栅(3)、第二反射栅(4)、压电薄膜(5)、第一液体敏感区(6)、第二液体敏感区(7);其中,叉指换能器(2)沉积在压电基片(1)表面中部,第一反射栅(3)、第二反射栅(4)分别沉积在压电基片(1)表面的左右两侧,压电薄膜(5)溅射在压电基片(1)表面,第一液体敏感区(6)设置于第一反射栅(3)与叉指换能器(2)之间,第二液体敏感区(7)设置于第二反射栅(4)与叉指换能器(2)之间,在所述第一液体敏感区(6)和第二液体敏感区(7)上分别设置有一个用于负载液体试样的液槽。 |
地址 |
210016 江苏省南京市秦淮区御道街29号 |