APPARATUS FOR SPATIAL ATOMIC LAYER DEPOSITION WITH RECIRCULATION AND METHODS OF USE

摘要

복수의 세장형 가스 포트들, 및 응축되고, 저장되고, 그리고/또는 재순환되도록, 프로세싱 챔버로부터 가스들을 운반하기 위해 다수의 도관들과 소통하는 펌프 포트들을 포함하는 원자 층 증착 장치 및 방법들이 제공된다.