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一种集紫外光化学与化学气相干法表面处理的真空设备的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1)：依次打开真空设备主电源、真空控制系统的真空计和氮气阀门，真空腔室内的气压超过1atm后关闭氮气阀门，依次打开真空腔室的外腔室和内腔室；步骤2)：将样品置于内腔室的石英样品台上，依次关闭内腔室盖、外腔室盖；步骤3)：依次开启内腔室水冷系统和真空泵系统的机械泵电源，当真空度高于1Pa后，开启真空泵系统的分子泵；步骤4)：内腔室本底真空度达到2*10<sup>‑4</sup>Pa后，关闭分子泵和内腔室气体输出阀门，打开真空控制系统的氧气气体流量计；内腔室达到1atm压强后，关闭气体输入阀门，开启紫外灯管主电源，设置光照时间，启动紫外光源的电源系统的控制开关；步骤5)：紫外灯管照射结束后，关闭紫外灯管主电源，打开内腔室气体输出阀门，待真空度达到1Pa后开启分子泵，再等待真空度达到2*10<sup>‑4</sup>Pa后，依次关闭分子泵和机械泵；步骤6)：打开Ar气体流量计和H<sub>2</sub>气体流量计，Ar和H<sub>2</sub>气体流量分别为200sccm和100sccm；待压强达到一个大气压后，开启内腔室加热装置，控制温度在30min内升至310摄氏度，并在此条件下保温两个小时后降温，控制降温速度为一个小时降温至80摄氏度；步骤7)：开启机械泵，待真空度达到1Pa后关闭机械泵；步骤8)：打开氮气输入阀门，真空腔室内气压大于1atm后依次打开外腔室和内腔室，取出样品；步骤9)：依次打开机械泵和分子泵，保持腔室真空状态；步骤10)：关闭真空腔室阀门，然后再依次关闭分子泵电源、机械泵电源、气压计、温度计、水冷系统和真空设备主电源。 |
