一种硅片插片机用供片装置

摘要

一种硅片插片机用供片装置，包括硅片分片机构和硅片输送机构；硅片分片机构的第一输送带位于所述第二输送带的上方，且所述第一输送带的第一端的投影位于第二输送带上，储片盒对应第一输送带的第二端设置，储片盒内设有硅片上下移动驱动装置；吹气口位于所述第一输送带的下方，吹气方向朝向所述储片盒设置；硅片输送机构的第三输送带的从动轴铰接于一驱动缸的活塞杆上，第三输送带的从动轴的一端的下方设有废硅片收纳盒；第三输送带和第四输送带串连设置；硅片分片机构的第二输送带与硅片输送机构对接。本实用新型采用硅片分片机构连续分片和取片，采用硅片输送机构对硅片进行连续运输，具有插片效率高的优点。

主权项

一种硅片插片机用供片装置，其特征在于：包括硅片分片机构和硅片输送机构；所述硅片分片机构包括第一输送带、第二输送带、储片盒和吹气口；所述第一输送带与第二输送带上下间隔设置，所述第一输送带位于所述第二输送带的上方，且所述第一输送带的第一端的投影位于所述第二输送带上，所述储片盒对应所述第一输送带的第二端设置，所述储片盒内设有硅片上下移动驱动装置；所述吹气口位于所述第一输送带的下方，吹气方向朝向所述储片盒设置；所述硅片输送机构包括至少一个第三输送带和至少一个第四输送带；所述第三输送带的从动轴铰接于一驱动缸的活塞杆上，所述第三输送带的从动轴的一端的下方设有废硅片收纳盒；所述第三输送带和第四输送带串连设置；所述硅片分片机构的第二输送带与所述硅片输送机构对接。