一种用于石墨烯生长的载具

摘要

本实用新型涉及一种用于石墨烯生长的载具，载具包括立方体框架，立方体框架的底端上设有底挡板，立方体框架相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板，两个侧挡板相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽，两个侧挡板上的侧挡板槽分别一一对应，在立方体框架设有侧挡板的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽，立方体框架的顶端设有若干横向石英棒，相邻的两个横向石英棒之间设有碳碳复合材料薄板，碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板的侧挡板槽内。将生长基底铺设在碳碳复合材料薄板上，将纵向石英棒依次穿过碳碳复合材料薄板和生长基底后，将生长基底置于载具上，有效防止生长基底粘连，提升炉体加工产能。

主权项

一种用于石墨烯生长的载具，其特征在于，包括立方体框架(1)，所述立方体框架(1)的底端上设有底挡板(2)，所述立方体框架(1)相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板(3)，两个所述侧挡板(3)相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽(4)，两个所述侧挡板(3)上的所述侧挡板槽(4)分别一一对应，在所述立方体框架(1)设有所述侧挡板(3)的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽(5)，所述立方体框架(1)的顶端设有若干横向石英棒(6)，所述横向石英棒(6)的两端分别设在两个不同侧面顶边上的所述固定槽(5)内，相邻的两个所述横向石英棒(6)之间设有碳碳复合材料薄板(7)，所述碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板(3)的侧挡板槽(4)内。