| 发明名称 | 半导体六寸线盒子的清洗装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体六寸线盒子的清洗装置，包括流通去离子水的清洗管路一和流通氮气的清洁管路，还包括流通异丙醇的清洗管路二，清洗管路一与清洗管路二在进行清洗前汇流，清洁管路用于对残留的去离子水和异丙醇吹扫清洁。本实用新型能够有效清洁盒子表面较小颗粒及油剂性颗粒，节省氮气使用，降低电力消耗。 | ||
| 申请公布号 | CN204464247U | 申请公布日期 | 2015.07.08 |
| 申请号 | CN201520081236.2 | 申请日期 | 2015.02.05 |
| 申请人 | 苏州同冠微电子有限公司 | 发明人 | 宋红安 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人 | 李杰 |
| 主权项 | 一种半导体六寸线盒子的清洗装置，包括流通去离子水的清洗管路一(1)和流通氮气的清洁管路(2)，其特征在于：还包括流通异丙醇的清洗管路二(3)，清洗管路一(1)与清洗管路二(3)在进行清洗前汇流，清洁管路(2)用于清洗后对残留的去离子水和异丙醇吹扫清除。 | ||
| 地址 | 江苏省苏州市张家港市塘市开发区南园路 | ||