绝缘膜用组合物及三维垂直孔的孔壁上形成绝缘膜的方法

摘要

本发明提供一种绝缘膜用组合物，按质量份包括酚醛树脂100份、稀释剂50~300份、增粘剂1~20份、成膜剂20~150份、交联剂50~150份及白炭黑5~20份。这种组分和配比使得由该绝缘膜用组合物形成的绝缘膜具有介电常数低的特点，能够广泛应用于半导体集成器件中。进一步地，本发明还提供一种在三维垂直孔的孔壁上形成绝缘膜的方法。

主权项

一种绝缘膜用组合物，其特征在于，按质量份由以下组分组成：酚醛树脂：100份；稀释剂：50～300份；增粘剂：1～20份；成膜剂：20～150份；交联剂：50～150份；及白碳黑：5～20份；所述稀释剂选自甲基丙烯酸羟基丁酯、二甲基丙烯酸二甲酯、乳酸丁酯及乳酸甲酯中的至少一种；所述成膜剂选自丙二醇甲醚及丙二醇丁醚中的至少一种；所述酚醛树脂的重均分子量为800～2000；所述酚醛树脂选自线性酚醛树脂、线性邻甲酚醛树脂、线性间甲酚醛树脂及线性对甲酚醛树脂中的至少一种；所述增粘剂选自硅烷偶联剂KH‑560及硅烷偶联剂KH‑550中的至少一种。