| 摘要 |
본 발명에 의하면, 하기 일반식 (3)으로 나타내어지는 반복 단위를 가지는 술폰산염 수지가 제공된다. [화학식 147](식 중, X는 수소 원자 또는 불소 원자, n은 1∼10의 정수. R은 수소 원자, 할로겐 원자 또는 탄소수 1∼3의 알킬기 또는 함불소 알킬기를 나타낸다. R는, RO, RRN 중 어느 하나를 나타낸다. M는, 1가의 카티온을 나타낸다.) 당해 술폰산염 수지는, 측쇄에 술폰산 오늄염을 구비하고 아니온이 수지 측에 고정되며, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트로의 용해도가 높은 레지스트 수지로서 바람직하게 사용된다. |
