| 发明名称 |
POWER DISTRIBUTOR FOR DEFINED SEQUENTIAL POWER DISTRIBUTION |
| 摘要 |
<p>본 발명은 직류 발전기의 고출력 전송을 두 개 이상의 타겟들에 순차적으로 지류 발전기 출력의 중단 없이 분배할 수 있는 전력 분배기에 관한 것이다. 또한 본 발명은 전술한 발전기를 포함하는 스퍼터 소스에 관한 것이다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150079930(A) |
申请公布日期 |
2015.07.08 |
| 申请号 |
KR20157014364 |
申请日期 |
2013.10.29 |
| 申请人 |
OERLIKON TRADING AG, TRUBBACH |
发明人 |
LENDI DANIEL |
| 分类号 |
H01J37/34;C23C14/34 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
