发明名称 反射コーティングを備えたミラー要素を有する投影対物系
摘要
申请公布号 JP5746259(B2) 申请公布日期 2015.07.08
申请号 JP20130097906 申请日期 2013.05.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G02B7/02;G02B19/00;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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