蓝宝石单晶生长设备

摘要

一种蓝宝石单晶生长设备，其能够容易地提高影响生长炉中的温度分布的隔热件的形状精度和定位精度。隔热件被设置在生长炉中并且围绕筒状加热器，以形成热区域。隔热件由多个筒状部构成，其中，多个筒状部沿上下方向堆叠，由定位机构来限定多个筒状部的径向位置。筒状部由碳毡构成。

主权项

一种蓝宝石单晶生长设备，其中，通过如下步骤来生长出蓝宝石单晶：在坩埚中放置籽晶和原料；将所述坩埚设置在位于生长炉中的筒状加热器中；以及由所述筒状加热器对所述坩埚进行加热，以使所述籽晶的一部分和所述原料熔化，然后使所述籽晶的所述部分和所述原料的熔化物逐渐结晶，其中，在所述生长炉中设置隔热件，所述隔热件围绕所述筒状加热器，以形成热区域，所述隔热件具有多个筒状部，所述多个筒状部由碳毡构成且沿上下方向堆叠，所述蓝宝石单晶生长设备还具有框架部，所述框架部用于限定在堆叠所述多个筒状部时的所述多个筒状部的径向位置并沿上下方向支撑所有筒状部或一部分筒状部的重量，所述框架部包括：环状部分，在所述环状部分上安装所述筒状部；和筒状部分，所述筒状部分沿上下方向支撑所述环状部分和所述筒状部的总重量，所述环状部分和所述筒状部分由挤出成形的碳材料构成。