| 发明名称 | 一种套刻对准标记 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种套刻对准标记，所述标记将对位量测分为X和Y两组图形，X组图形为回字形或正方块的当层图形加竖直的前层图形，Y组图形为回字形或正方块的当层图形加水平的前层图形；所述的前层图形为单根的空位或者线条。本发明将X和Y标记分开，提高套刻对准标记的分辨率，提高光刻对准精度。 | ||
| 申请公布号 | CN104765254A | 申请公布日期 | 2015.07.08 |
| 申请号 | CN201510213268.8 | 申请日期 | 2015.04.29 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 程晋广;王雷 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人 | 丁纪铁 |
| 主权项 | 一种套刻对准标记，其特征在于：所述标记将对位量测分为X和Y两组图形，X图形为回字形的当层图形加竖直的前层图形，Y图形为回字形的当层图形加水平的前层图形；所述的前层图形为单根的空位或者线条。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||