用于光辅助金属有机物化学气相沉积的气体喷淋头装置

摘要

用于光辅助金属有机物化学气相沉积的气体喷淋头装置，涉及低压MOCVD领域。本发明包括气体管道，其特征在于，在气体管道上设置有紫外线光源；气体管道上还设置有透光窗口，从紫外光源到管道内部形成通光路径；在气体管道上设置有隔热装置。本发明的有益效果是，有效降低了喷淋头的温度，有效抑制了金属有机源蒸气在喷淋头内壁的反应；同时引入紫外线辐照，使得金属有机源大分子在到达衬底前得以提前分解，加快了反应速率，改善了薄膜质量。

主权项

用于光辅助金属有机物化学气相沉积的气体喷淋头装置，包括气体管道(2)，其特征在于，在气体管道(2)上设置有紫外线灯管；气体管道(2)上还设置有透光窗口(4)，从紫外线灯管到气体管道内部形成通光路径；在气体管道(2)上设置有隔热装置(3)；隔热装置(3)包括冷却装置(5)；所述冷却装置(5)为冷却管；所述隔热装置包括设置于冷却管出口端(B2)侧的U形曲面状的隔热板，冷却管设置于隔热板内部或表面，U形曲面状的隔热板的两端分别设置于透光窗口的上下两边，紫外线灯管设置于所述隔热板和透光窗口所围成的区域内，用于阻断来自下方出口方向的热辐射；隔热板上设置有灯管固定用支架(6)，用于固定紫外线灯管。