硒化氢混合气体的供给方法及供给装置

摘要

一种硒化氢混合气体的供给方法及供给装置，使同一流量的校正用气体流过设置于原料气体供给流路以控制作为原料气体的硒化氢气体的流量的流量控制单元和校正用的流量控制单元，并根据由流量控制单元和流量测量单元分别测量出的校正用气体的流量值的差异，修正流量控制单元流出的硒化氢气体的流量的设定值。

主权项

一种硒化氢混合气体的供给方法，具有：将从基本气体供给流路供给的惰性气体与从原料气体供给流路供给的硒化氢气体混合，来制造配制成规定浓度的硒化氢混合气体的工序；和供给所述混合气体的工序，所述硒化氢混合气体的供给方法的特征在于，进一步包括在停止制造硒化氢混合气体的工序期间，修正原料气体的流量设定值的工序，所述修正工序包括：使同一流量的校正用气体流过设置于所述原料气体供给流路以控制所述硒化氢气体的流量的流量控制单元和校正用的流量测量单元的工序；获得由所述流量控制单元和所述流量测量单元分别测量出的所述校正用气体的流量值的差异的工序；和根据所述差异，修正所述流量控制单元流出的所述硒化氢气体的流量值的工序。