VACUUM PUMP

摘要

본 발명은 터보분자 펌핑 기구(14)를 포함하는 진공 펌프(10)에 관한 것으로서, 터보분자 펌핑 기구의 작동 특성은 진공 펌프의 방향설정에 의존하며, 진공 펌프는 방향설정을 탐지하기 위한 방향설정 센서(28)를 포함한다.