发明名称 |
一种金刚石表面镀非磁性金属层的制作方法 |
摘要 |
本发明涉及金刚石表面处理技术领域,名称是一种金刚石表面镀非磁性金属层的制作方法,它在金刚石真空镀膜机中进行,它包括以下步骤:a、首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中,将镀膜室抽真空至2×10<sup>-3</sup>Pa,用5KV离子源对金刚石清洁处理30分钟;b、用非磁性金属材料做靶材,所述的非磁性金属材料是指钛、钨、钼、铬,靶材为阴极,金刚石粉体为阳极,调节真空离子镀膜机的参数为:电压为350—450V;直流电流是1.2A - 1.4A;偏转电压是200—300V;高纯氩气流量:8—12毫升/秒;温度是温度480—520°C,这样的方法具有要求温度低、镀膜稳定的优点,参数的进一步限定还具有镀膜坚实性较强的优点。 |
申请公布号 |
CN104762598A |
申请公布日期 |
2015.07.08 |
申请号 |
CN201510132790.3 |
申请日期 |
2015.03.26 |
申请人 |
河南黄河旋风股份有限公司 |
发明人 |
刘建设;郭松;孟为民;刘超超;王飞山;刘拾霞;曹河周 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
一种金刚石表面镀非磁性金属层的制作方法,它在金刚石真空镀膜机中进行,它包括以下步骤:a、首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中,将镀膜室抽真空至2×10<sup>‑3</sup>Pa,用5KV离子源对金刚石清洁处理30分钟;b、用非磁性金属材料做靶材,所述的非磁性金属材料是指钛、钨、钼、铬,靶材为<b>阴极</b>,金刚石粉体为<b>阳极</b>,调节真空离子镀膜机的参数为:电压: 350—450V;直流电流: 1.2A ‑ 1.4A;偏转电压: 200—300V;工作时间: 10800秒—12000秒;高纯氩气流量:8—12毫升/秒;温度: 温度480—520°C;并使金刚石处于移动翻转移动的状态。 |
地址 |
461500 河南省许昌市长葛市人民路200号 |