发明名称 一种金刚石表面镀非磁性金属层的制作方法
摘要 本发明涉及金刚石表面处理技术领域,名称是一种金刚石表面镀非磁性金属层的制作方法,它在金刚石真空镀膜机中进行,它包括以下步骤:a、首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中,将镀膜室抽真空至2×10<sup>-3</sup>Pa,用5KV离子源对金刚石清洁处理30分钟;b、用非磁性金属材料做靶材,所述的非磁性金属材料是指钛、钨、钼、铬,靶材为阴极,金刚石粉体为阳极,调节真空离子镀膜机的参数为:电压为350—450V;直流电流是1.2A - 1.4A;偏转电压是200—300V;高纯氩气流量:8—12毫升/秒;温度是温度480—520°C,这样的方法具有要求温度低、镀膜稳定的优点,参数的进一步限定还具有镀膜坚实性较强的优点。
申请公布号 CN104762598A 申请公布日期 2015.07.08
申请号 CN201510132790.3 申请日期 2015.03.26
申请人 河南黄河旋风股份有限公司 发明人 刘建设;郭松;孟为民;刘超超;王飞山;刘拾霞;曹河周
分类号 C23C14/24(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种金刚石表面镀非磁性金属层的制作方法,它在金刚石真空镀膜机中进行,它包括以下步骤:a、首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中,将镀膜室抽真空至2×10<sup>‑3</sup>Pa,用5KV离子源对金刚石清洁处理30分钟;b、用非磁性金属材料做靶材,所述的非磁性金属材料是指钛、钨、钼、铬,靶材为<b>阴极</b>,金刚石粉体为<b>阳极</b>,调节真空离子镀膜机的参数为:电压:        350—450V;直流电流:    1.2A ‑ 1.4A;偏转电压:    200—300V;工作时间:    10800秒—12000秒;高纯氩气流量:8—12毫升/秒;温度:        温度480—520°C;并使金刚石处于移动翻转移动的状态。
地址 461500 河南省许昌市长葛市人民路200号