单色激光扩束准直系统

摘要

单色激光扩束准直系统，属于光学设计领域。为了有效解决共焦显微技术测量面型的光学系统特定光源问题，本发明的扩束准直系统包括沿同一光轴从平行光源到物面依次排列的光阑（1）、弯月型透镜（2）、双凹透镜（3）和鼓型透镜（4）组成的激光扩束准直物镜组，光阑（1）之前是激光器发出的光源，激光扩束准直物镜组后是理想透镜（5）；其中：设激光扩束准直系统的焦距为                                                ，入瞳直径为，出瞳直径为，总长，则，，，。本发明的单色激光扩束准直系统的结构简单，成像质量好，放大倍率较高，为提高共焦显微技术测量面型的精度而提供合适的光源。

主权项

单色激光扩束准直系统，其特征在于所述扩束准直系统包括沿同一光轴从平行光源到物面依次排列的光阑(1)、弯月型透镜(2)、双凹透镜(3)、鼓型透镜(4)和理想透镜(5)；其中：设激光扩束准直系统的焦距为f′，入瞳直径为D，出瞳直径为D′，总长l，则6mm≤f′≤8mm，0.5mm≤D≤2mm，8mm≤D′≤10mm，l≤60mm，光阑(1)离弯月型透镜(2)的距离为1mm，理想透镜(5)与鼓型透镜(4)第二面(4‑1)的距离为165mm，弯月型透镜(2)的1＜n1＜2，4mm＜R1＜7mm，1mm＜R2＜4mm，双凹透镜(3)的1＜n2＜2，‑111mm＜R3＜‑108mm，41mm＜R4＜44mm，鼓型透镜(4)的1＜n3＜2，48mm＜R5＜51mm，‑30mm＜R6＜‑27mm。