一种远红外激光加工用Fθ镜头及激光加工设备

摘要

一种远红外激光加工用Fθ镜头及激光加工设备，该镜头包括沿入射光束的传输方向依次共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)及第三透镜(L3)；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜和第三透镜为弯月形正透镜；第一、第二、第三透镜的中间部分均向入射光束的传输方向凸出。该Fθ镜头，可以提高成像质量和分辨距离，有效校正镜头的象散和畸变，减小高级像差的影响，并且激光聚焦点的能量集中度较高，加工精度高，可很好的满足切割或打孔的要求。该Fθ镜头小型化，有效控制了镜头体积，降低了成本。

主权项

PCT国内申请，权利要求书已公开。