| 发明名称 | 一种扫描电镜样品的保存方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体工艺技术领域，本发明提供了一种扫描电镜样品的保存方法，首先提供样品，并将样品放入SEM设备中进行失效分析，接着在分析后的样品表面涂覆用于隔绝空气的保护层，然后将样品放置在大气环境中进行保存，当需要对样品再次进行失效分析时，去除样品表面的保护层，最后将样品放入SEM设备中进行失效分析。本发明提供了一种可靠易行，成本较低的扫描电镜样品的保存方法，解决了现有技术在失效分析过程中，SEM样品表面容易受损或氧化的问题，本领域技术人员采用该方法可提高失效分析的成功率，并降低失效分析的成本。 | ||
| 申请公布号 | CN104766811A | 申请公布日期 | 2015.07.08 |
| 申请号 | CN201510144597.1 | 申请日期 | 2015.03.30 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 陈强 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人 | 吴世华;陈慧弘 |
| 主权项 | 一种扫描电镜样品的保存方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供样品，并将样品放入SEM设备中进行失效分析；步骤S2、在分析后的样品表面涂覆用于隔绝空气的保护层；步骤S3、将样品放置在大气环境中进行保存；步骤S4、去除样品表面的保护层；步骤S5、将样品放入SEM设备中进行失效分析。 | ||
| 地址 | 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 | ||