曝光用的定位夹具及其曝光机

摘要

本实用新型涉及一种曝光用的定位夹具及其曝光机。定位夹具包括上玻璃和下玻璃。上玻璃设有上菲林，下玻璃设有下菲林，上菲林与下菲林图案一致。上玻璃上固定有多于一个母销钉，下玻璃固定有对应母销钉的公销钉，公销钉的外径等于母销钉的孔内径。进行曝光时，公销钉插入母销钉的孔内，上菲林与下菲林重合，上玻璃与下玻璃将工件夹紧固定，工件位于上菲林与下菲林之间。曝光机包括机台和定位夹具。本实用新型通过公销钉和母销钉实现对位，公销钉与母销钉准确插合时上下菲林则准确对位，整个对位结构不需要昂贵的摄像机，达到了成本低精度高的效果。

主权项

曝光用的定位夹具，包括上玻璃和下玻璃，上玻璃设有上菲林，下玻璃设有下菲林，上菲林与下菲林大小一致，其特征在于，所述上玻璃上固定有多于一个母销钉，下玻璃固定有对应所述母销钉的公销钉，公销钉的外径等于母销钉的孔内径；进行曝光时，公销钉插入母销钉的孔内，上菲林与下菲林重合，上玻璃与下玻璃将工件夹紧固定，工件位于上菲林与下菲林之间。