一种离轴抛物面离轴量的测量装置及方法

摘要

本发明公开一种离轴抛物面离轴量的测量装置及方法，包括会聚光干涉仪、平行光干涉仪、自准平面镜，利用光直线传播的原理，将离轴抛物面镜的通光孔径几何中心和焦点，投影到自准平面镜上，并分别标记，通过测量标记间距，测量离轴抛物面镜的离轴量。本发明的优点在于：原理简单、易操作，解决了离轴抛物面离轴量的测量问题。

主权项

一种离轴抛物面离轴量的测量装置，包括会聚光干涉仪、平行光干涉仪、自准平面镜、法兰盘和可见高吸收标记，其特征在于：所述的会聚光干涉仪发出一束汇聚光束，光束汇聚点与抛物面焦点重合，光束经离轴抛物面反射，入射自准平面镜，经自准平面镜反射原路返回会聚光干涉仪；所述法兰盘中心与抛物面焦点重合，且法兰盘盘面法线与自准平面镜法线平行；所述的平行光干涉仪放置在法兰盘非自准直平面镜的一侧，平行光干涉仪出射光束方向与自准平面镜法线平行，且光束覆盖法兰盘；所述可见高吸收标记在三座标等精密测量工具监测下，制作在离轴抛物面镜通光孔径几何中心。