发明名称 一种等离子体源阳极冷却结构
摘要 本实用新型公开了一种等离子体源阳极冷却结构,涉及等离子体源技术领域。本实用新型包括阳极本体(1),所述阳极本体(1)内部设置有冷却通道(2);所述阳极本体(1)上设置有进气口(3)和出气口(4);所述进气口(3)和出气口(4)分别与冷却通道(2)连通;所述冷却通道(2)上设置有冷却结构(21)。本实用新型可以实现等离子体源的自冷却,且利用阳极冷却过程中释放的热量,加热工作气体,减小电弧通道内外工作气体压力,稳定等离子体射流。
申请公布号 CN204466029U 申请公布日期 2015.07.08
申请号 CN201520080253.4 申请日期 2015.02.05
申请人 成都真火科技有限公司 发明人 王鹏飞;黄佳华;王井楠;杨超;赵华;任琼英;李向阳;李露
分类号 H05H1/28(2006.01)I 主分类号 H05H1/28(2006.01)I
代理机构 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 代理人 冉鹏程
主权项 一种等离子体源阳极冷却结构,包括阳极本体(1),其特征在于:所述阳极本体(1)内部设置有冷却通道(2);所述阳极本体(1)上设置有进气口(3)和出气口(4);所述进气口(3)和出气口(4)分别与冷却通道(2)连通;所述冷却通道(2)上设置有冷却结构(21)。
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