ERASABLE ION IMPLANTED OPTICAL COUPLERS

摘要

소거 가능한 이온 주입 광학 커플러가 개시된다. 일 예에서, 방법은 광학 디바이스의 도파관(waveguide) 내에 회절 격자(grating)를 형성하기 위해 이온을 기판에 주입하는 단계와, 광학 신호를 상기 도파관에 대해 상기 회절 격자를 통해 커플링하는 단계와, 광학 신호를 상기 도파관에 커플링한 후에, 상기 기판을 어닐링(annealing)하여 상기 회절 격자를 제거하는 단계를 포함한다.