DEPOSITION OF FILMS COMPRISING ALUMINUM ALLOYS WITH HIGH ALUMINUM CONTENT

摘要

알루미늄, 탄소 및 금속을 포함하는 필름으로서, 알루미늄이 원소 함량으로 약 16% 초과의 양으로 존재하며, 탄소가 약 50% 미만의 양으로 존재하는 필름이 제공된다. 또한, 이를 증착시키는 방법이 제공된다.