| 摘要 |
밸브 어셈블리는, 제1 기체가 밸브 어셈블리를 통해 전송될 수 있는 통로를 포함하는 밸브 바디; 상기 밸브 바디에 대해 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동가능한 밸브 유동 제어 요소로서, 상기 개방 위치에서 상기 통로를 통과하는 유동이 최대 유동이고, 상기 폐쇄 위치에서 상기 통로를 통과하는 유동이 최소 유동이며, 상기 밸브 유동 제어 요소는 상기 밸브 바디와 밸브 유동 제어 요소 사이에 제어 간격이 구비되도록 성형되고, 상기 제어 간격을 통해 상기 제1 기체가 유동가능하고, 상기 제어 간격의 치수는 상기 밸브 바디에 대한 상기 밸브 유동 제어 요소의 위치에 따라 변하는, 밸브 유동 제어 요소; 및 상기 밸브 어셈블리가 상기 통로를 통과하는 상기 제1 기체의 유동을 제어하는데 사용될 때, 상기 제어 간격 내로 제2 기체를 선택적으로 주입하기 위한, 기체 인젝터 장치를 포함한다. 밸브 유동 제어 요소가 폐쇄 위치에 또는 근처에 있을 때 제2 기체를 주입하는 것은, 밸브의 폐쇄 컨덕턴스를 줄일 뿐만 아니라, 밸브 유동 제어 요소 상에 증착되는 응축액을 최소화하는 것을 돕는다. |
