| 摘要 |
<p>본 발명은 마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템에 관한 것이며, 본 발명의 마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템은 극성을 가지는 액체를 제공하는 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 상기 액체를 내부로 공급받아 상기 액체가 기화되는 공간을 제공하는 몸체부와 상기 몸체부의 외면에 마련되며, 상기 몸체부 내부에 주입되는 상기 액상의 유체에 마이크로웨이브(microwave)를 인가하여 상기 액상의 유체를 가열하는 마이크로웨이브 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 몸체부 내부에 주입되는 액체 상태의 유체를 포함한 유체를 신속하게 기화시킬 수 있는 마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템을 제공한다.</p> |
