| 摘要 |
1. Détecteur gravimétrique comportant une structure nanoélectronique comprenant : - une partie fixe (2), - au moins une partie suspendue (4) par rapport à la partie fixe (2), - des moyens d'excitation (8) de sorte à mettre en vibration la partie suspendue par rapport à la partie fixe, - des moyens de détection (10) des variations de vibration de ladite partie suspendue, - une couche de fonctionnalisation poreuse (6) recouvrant une partie au moins de la parie suspendue (4), la porosité de ladite couche de fonctionnalisation (6) étant comprise entre 3 % et 50 %. |
