发明名称 |
タッチパネルで使用される透明体ならびにその製作方法および装置 |
摘要 |
タッチスクリーンパネルで使用する透明体を製作するプロセスが提供される。このプロセスは、第1の透明層スタック(12)を透明基板(14)の上に堆積させることであり、前記第1の透明層スタック(12)が、第1の屈折率をもつ少なくとも1つの第1の誘電体膜(16)と、第1の屈折率と異なる第2の屈折率をもつ第2の誘電体膜(18)とを含む、堆積させることと、第1の透明層スタック(12)および構造化された透明導電膜(22)がこの順序で基板(14)の上に配置されるように構造化された透明導電膜(22)を設けることであり、構造化された透明導電膜が100オーム/スクエア以下のシート抵抗を有する、設けることと、第2の透明層スタックを透明導電膜の上に堆積させることであり、前記第2の透明層スタックが、第3の屈折率をもつ少なくとも1つの第3の誘電体膜と、第4の屈折率をもつ第4の誘電体膜または透明接着剤を含み、第1の透明層スタック、構造化された透明導電膜、および第2の透明層スタックがこの順序で設けられる、堆積させることとを含む。 |
申请公布号 |
JP2015518518(A) |
申请公布日期 |
2015.07.02 |
申请号 |
JP20150502112 |
申请日期 |
2012.03.30 |
申请人 |
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドAPPLIED MATERIALS,INCORPORATED |
发明人 |
グリルマイヤー, ユルゲン;ジルバウアー, トーマス ウェルナー |
分类号 |
C23C14/06;B32B7/02;C23C14/34;G06F3/041 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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