| 摘要 |
<p>플라즈마 비한정 이벤트를 검출하기 위한 플라즈마 리액터 내의 장치가 제공된다. 이 장치는 센서를 포함하는데, 이 센서는 플라즈마 리액터 내에 구현된 용량성 기반 센서이다. 이 센서는 플라즈마 한정 영역의 외부에 구현되며 센서가 플라즈마 비한정 이벤트와 연관된 플라즈마에 노출될 때 과도 전류를 생성하도록 구성된다. 센서는 플라즈마 비한정 이벤트와 연관된 플라즈마를 향하여 배향된 적어도 하나의 전기 절연성 층을 갖는다. 이 장치는 또한 검출 회로를 포함하는데, 이 검출 회로는 과도 전류를 과도 전압 신호로 변환하고 과도 전압 신호를 프로세싱하여 플라즈마 비한정 이벤트가 존재하는지 여부를 확인하기 위해 센서에 전기 접속된다.</p> |
