吐出量測定用器具、吐出量測定用基板、吐出量測定用器具着脱装置及びそれを備えた基板処理装置

摘要

【課題】簡易な方法で精度高く処理液の吐出量を測定することのできる吐出量測定用器具、吐出量測定用基板、吐出量測定用器具着脱装置及びそれを備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】吐出された処理液を受ける容器７１と、容器７１内に取り外し自在に配置された高吸水性高分子材料を含む処理液吸収材７２とを備えた吐出量測定用器具７０を用いて、基板処理装置の処理液供給部から吐出される処理液の吐出量を測定する。【選択図】図６