| 摘要 |
サファイア部品を強化するためのシステム及び方法について開示する。１つの実施形態は、サファイア部材の第１表面をイオンインプランテーション装置に対して配向しそして第１のインプランテーションステップを遂行することを含む方法の形態をとる。インプランテーションステップは、サファイア部材の第１表面にイオンを向けて、第１表面の下にそれを埋め込むことを含む。又、このシステム及び方法は、サファイア部材を加熱して、インプランテーションされたイオンをサファイア部材のより深い層へ拡散すること、サファイア部材を冷却すること、及び少なくとも第２のインプランテーションステップを遂行して、イオンをサファイア部材の第１表面に向けて、第１表面の下にイオンを埋め込むこと、の１つ以上を含む。【選択図】 図２Ａ |
