发明名称 抵抗ヒーター
摘要 抵抗ヒーターが図示及び記載される。本抵抗ヒーターは本体を有してもよい。本体は、概ね滑らかで概ね平坦である少なくとも1つの加熱面と、本体に形成される凹部とを有してもよい。本体の少なくとも一部は、略U字形状、略I字形状、及び略H字形状からなる群から選択される断面形状を有する。この断面形状は本体の少なくとも一部にわたって延在する。【選択図】図1
申请公布号 JP2015518627(A) 申请公布日期 2015.07.02
申请号 JP20150501882 申请日期 2013.03.20
申请人 发明人
分类号 H05B3/20;C23C16/46;H01L21/02;H01L21/205;H05B3/14 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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