Integrierte optoelektronische Vorrichtung und System mit Wellenleiter und Herstellungsverfahren derselben

摘要

Eine integrierte optoelektronische Vorrichtung, die von einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche begrenzt ist und Folgendes aufweist: einen Körper aus Halbleitermaterial, in dessen Innerem mindestens eine optoelektronische Komponente gebildet ist, die aus einem Detektor und einem Emitter ausgewählt ist; sowie einen optischen Pfad, der zumindest teilweise vom geführten Typ ist und sich zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche erstreckt, wobei der optische Pfad den Körper durchläuft. Die optoelektronische Komponente ist durch den optischen Pfad mit einem ersten Bereich eines freien Raums und einem zweiten Bereich eines freien Raums optisch gekoppelt, die über bzw. unter der ersten und der zweiten Oberfläche angeordnet sind.