一种液晶光阀及其制备方法

摘要

本发明属于液晶器件领域。为了提供一种高分辨率及高灵敏度的液晶光阀及其制备方法，采用的技术方案包括相对设置的第一玻璃基片和第二玻璃基片，第一玻璃基片和第二玻璃基片相向的侧面分别设有第一透明导电薄膜层和第二透明导电薄膜层，第一透明导电薄膜层和第二透明导电薄膜层间依次设有光敏层、阻光层、介质镜、第一取向层、液晶层及第二取向层，光敏层为光学带隙渐变的a-Si:H/nc-Si:H薄膜，其带隙范围为1.5eV～2.2eV。从能带角度出发，利用a-Si:H/nc-Si:H的带隙与光吸收系数、光电转化效率及电导率的关系，通过逐步渐变薄膜制备过程中气体成份，设计出光学带隙渐变的a-Si:H/nc-Si:H光敏层，拓宽光谱，提高光吸收系数、光电转化效率及电导率，提高灵敏度和分辨率；适用于现有液晶光阀。

主权项

一种液晶光阀，包括相对设置的第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)，第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)相向的侧面分别设有第一透明导电薄膜层(2)和第二透明导电薄膜层(9)，第一透明导电薄膜层(2)和第二透明导电薄膜层(9)之间还依次设有光敏层(3)、阻光层(4)、介质镜(5)、第一取向层(6)、液晶层(7)及第二取向层(8)，其特征在于，所述光敏层(3)为光学带隙渐变的a‑Si:H/nc‑Si:H薄膜，其带隙范围为1.5eV～2.2eV。