一种移动式组合对准标记的光刻版

摘要

本实用新型提供了一种移动式组合对准标记的光刻版。其包括光刻版框架(1)，在光刻版框架(1)正面的偏上部开有第一滑槽（31），第一滑槽（31）内有与之配套的第一滑块(41)，第一滑块(41)上有第一标记（511）和第二标记（512）。进一步，还包括滑第二滑槽（32），第一滑槽（31）和滑第二滑槽（32）对称分布在光刻版框架(1)正面的偏上部，滑第二滑槽（32）内有与之配套的第二滑块(42)，第二滑块(42)上有第三标记（521）和第四标记（522）。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：提出了灵活使用多种对准图形的可行性，可以针对同一套光刻版，根据实际需要切换在不同的光刻机之间兼容使用，不必因仅改变对准标记而要耗费成本制作第二套光刻版，达到降本增效的目的。

主权项

一种移动式组合对准标记的光刻版，包括光刻版框架(1)，位于光刻版框架(1)正面的产品区域(2)，其特征在于：在光刻版框架(1)正面的偏上部开有第一滑槽（31），第一滑槽（31）内有与之配套的第一滑块(41)，第一滑块(41)上有第一标记（511）和第二标记（512）。