| 发明名称 | 一种具有复合吸气剂层的MEMS组件及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种具有复合吸气剂层的MEMS组件及其制备方法，该方法包括：将非蒸散型吸气材料粉末、有机粘结剂、稀土氧化物三种组分混合均匀；使用40～300目的筛网在MEMS器件的盖板材料或管壳材料上丝印厚度为10～400微米的复合吸气剂层；在350～400℃真空烧制，制备出具有复合吸气剂层的MEMS组件。该组件可以在维持密封腔室真空度的同时，方便地在MEMS器件的多个内部部件上进行制备，结构简单。此组件在真空封装后，通过吸收内部腔室内的水汽及残余气体，可以提高MEMS器件的使用可靠性及寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN104743502A | 申请公布日期 | 2015.07.01 |
| 申请号 | CN201310751893.9 | 申请日期 | 2013.12.31 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院 | 发明人 | 朱君;张心强;李洋;徐瑶华 |
| 分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人 | 刘茵 |
| 主权项 | 一种具有复合吸气剂层的MEMS组件的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：A.将非蒸散型吸气材料粉末、有机粘结剂和稀土氧化物三种组分混合均匀；三种组分的配比为40～60wt％：30～55wt％：5～10wt％：B.使用40～300目的筛网在MEMS器件的盖板材料或管壳材料上丝印厚度为10～400微米的复合吸气剂层；C.将步骤B制备的MEMS器件在350～400℃真空烧制，制备出具有复合吸气剂层的MEMS组件。 | ||
| 地址 | 100088 北京市西城区新街口外大街2号 | ||