沿扫描方向进行均匀性补偿装置及利用该装置进行均匀性补偿方法

摘要

本发明公开了一种沿扫描方向进行均匀性补偿装置及利用该装置进行均匀性补偿方法，其中该装置包括使用空间光调制器作为图形发生器的扫描式曝光系统和检测扫描式曝光系统成像后的沿X轴方向的一维光强度分布信息的光测器，还包括有处理光测器信号并通过相应计算得到均匀性补偿图像的处理器，该处理器将计算得到的均匀性补偿图像加载到空间光调制器的扫描路径上，使空间光调制器改变图像的扫描路径，从而改变沿扫描路径的光强积分并实现整个图形曝光区域的光能量一致。

主权项

沿扫描方向进行均匀性补偿装置，其特征在于包括使用空间光调制器作为图形发生器的扫描式曝光系统和检测扫描式曝光系统成像后的沿X轴方向的一维光强度分布信息的光测器，还包括有处理光测器信号并通过相应计算得到均匀性补偿图像的处理器，该处理器将计算得到的均匀性补偿图像加载到空间光调制器的扫描路径上，使空间光调制器改变图像的扫描路径，从而改变沿扫描路径的光强积分并实现整个图形曝光区域的光能量一致，所述检测扫描式曝光系统包括有激光照明光源(101)、聚光系统(102)、反射系统(103)、空间光调制器(104)、成像系统(105)及目标(107)；所述激光照明光源(101)经过均匀化后，经过聚光系统(102)，再经过反射系统(103)，入射到空间光调制器(104)上，空间光调制器(104)将入射光调制后经成像系统(105)成像在目标(107)处；之后，用光测试工具在目标(107)处得到沿X方向的一维光强度分布信息P；将得到的光强分布信息P对图像扫描路径进行平均化，设扫描路径长度分布为S，计算方法如下：平均化后的功率分布P0＝P/S；从光强分布值P中找到一个最小光强值Pmin；得到一组新的光强分布值Pt＝P‑Pmin，则补偿分布结果K＝Pt/P0,即K＝(P‑Pmin)×S/P，K表示的是沿扫描路径方向，每列需要关闭的像素开关数量分布，即每列需要关闭的像素数；将K输出到空间光调制器上，并且再次重复前面的步骤，将可以得到均匀性补偿的预期效果。