具ＰＮ界面的微机电装置;MEMS APPARATUS WITH PN-JUNCTION

摘要

一种具PN界面的微机电装置。此种微机电装置包括可动质量块、导电层以及电极。可动质量块包含P型半导体层与N型半导体层。PN界面形成于P型半导体层与N型半导体层的连接面。当交流电流通过导电层时，此微机电装置可避免输出异常的电压讯号。此微机电装置适用于感测加速度及磁力，也可以是一种微机电扫瞄镜。