发明名称 图案化方法及使用其之装置的制造方法及装置
摘要
申请公布号 TWI491307 申请公布日期 2015.07.01
申请号 TW098120005 申请日期 2009.06.16
申请人 东丽股份有限公司 发明人 藤森茂雄;白泽信彦;谷村宁昭
分类号 H05B33/10;H01L51/56 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 一种图案化方法,其特征为:与装置基板对向配置经在基板上形成光热转换层与分区图案、且在该分区图案内存在着转印材料之施体基板,并以使得该转印材料之至少一部分与该分区图案之至少一部分同时受到加热的方式对光热转换层照射光,以将该转印材料转印于装置基板上。
地址 日本