发明名称 |
感光性树脂组合物、感光性元件、喷砂用掩模材料及被处理物的表面加工方法 |
摘要 |
本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、喷砂用掩模材料和被处理物的表面加工方法,所述感光性树脂组合物含有(A)具有羧基的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)含有磷的增塑剂和(E)硅烷化合物,所述(B)成分的具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。 |
申请公布号 |
CN104749885A |
申请公布日期 |
2015.07.01 |
申请号 |
CN201410814596.9 |
申请日期 |
2014.12.24 |
申请人 |
日立化成株式会社 |
发明人 |
小泽恭子;吉田哲也;板垣秀一 |
分类号 |
G03F7/033(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/033(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
钟晶;於毓桢 |
主权项 |
一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有羧基的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)含有磷的增塑剂、和(E)硅烷化合物,所述(B)成分的具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。 |
地址 |
日本东京都 |