发明名称 感光性树脂组合物、感光性元件、喷砂用掩模材料及被处理物的表面加工方法
摘要 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、喷砂用掩模材料和被处理物的表面加工方法,所述感光性树脂组合物含有(A)具有羧基的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)含有磷的增塑剂和(E)硅烷化合物,所述(B)成分的具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。
申请公布号 CN104749885A 申请公布日期 2015.07.01
申请号 CN201410814596.9 申请日期 2014.12.24
申请人 日立化成株式会社 发明人 小泽恭子;吉田哲也;板垣秀一
分类号 G03F7/033(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/033(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 钟晶;於毓桢
主权项 一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有羧基的粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)含有磷的增塑剂、和(E)硅烷化合物,所述(B)成分的具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物包含氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。
地址 日本东京都